Die AeroBar MP 5635 Ionisierstange ist ideal zur Beseitigung elektrostatischer Aufladung in der Halbleiterproduktion und bei anderen kritischen Reinraum-Prozessen, bei denen schnelle Entladezeiten, niedrige Spannungsschwankungen und exakte Balance gefordert sind.
Durch Nutzung der MP-Technologie bei der AeroBar MP 5635 wird eine hochfrequente Sinuswelle mit modulierten Impulsen für eine sehr hohe Ionenausgabe eingesetzt. Hierdurch ist die Montage des AeroBar MP 5635 in unmittelbarer Nähe zum Wafer möglich. Die Kombination aus MP Technologie, extrem sauberen Silizium-Emitterspitzen und exakter Feinabstimmung erfüllen die Anforderungen der erweiterten ISO 1 Klasse.
Die AeroBar MP 5635 Ionisierstange wird schnell durch einfaches Einstecken in eine 24 V DC-Spannungsquelle installiert. Für Luftunterstützung muss eine Druckluftleitung angeschlossen werden. Anwender können die Feinabstimmung der Steuerparameter am Stab vornehmen oder die benutzerfreundliche Software verwenden, um optimale Balance, Spannungsschwankung und Entladezeit einzustellen.
Ein Alarmausgang in der Anschlussbox ermöglicht den Anschluss an eine Maschinen- oder Anlagensteuerung oder die Auswertung über Monitoring PC.
- Kompatibel mit allen Wafer-Technologie-Konoten inklusive 22 nm und darunter
- Einheitliche Balance über die AeroBar
- Sichere Platzierung im Abstand 150 mm von Wafer oder Maske
- Für erweiterte ISO 1 Klasse geeignet
- Modulierte Impulstechnologie
- Optionale Luftunterstützung
- Optionale Software mit benutzerfreundlicher Oberfläche und vielen Einstellmöglichkeiten
- Alarm-Ausgangssignal
- Emitterspitzen: Silizium [ISO Klasse 1]
- Spannungsversorgung 24 Volt DC
- Abmessung: 78 x 34 x 450 - 1600 mm (BxHxL)