Charged-Plate-Monitore

Charge-Plate-Monitore sind Detektorsysteme, die in der Elektronikfertigung eingesetzt werden, um das elektrische Potential und die Ladungsverteilung auf Oberflächen zu messen. Sie bestehen aus einer Metallplatte, die über einen Charger elektrisch aufgeladen wird, und einer Messsonde, die das elektrische Potential misst. Durch das Messen des Potentialunterschieds zwischen der Platte und der Sonde kann die Ladungsverteilung auf der Oberfläche bestimmt werden.