Charged-Plate-Monitore (CPM) messen die Effizienz von Ionisationssystemen in Reinräumen und der Elektronikfertigung. Dabei wird eine isolierte Metallplatte aufgeladen und die Entladung durch Ionisation erfasst. Entladezeit (Decay Time) und Restspannung (Offset Voltage) geben Aufschluss über die Neutralisation elektrostatischer Ladungen. Die Messwerte ermöglichen eine objektive Bewertung der Ionisationsleistung, unterstützen die Qualitätssicherung und helfen, ESD-bedingte Schäden in Produktionsprozessen zu minimieren.